总投资5亿元, 一玻璃基板生产线扩建项目完成备案

9月30日，广东省投资项目在线审批监管平台显示，广东佛智芯微电子有限公司“玻璃基板生产线扩建项目”备案已办结通过。

该项目总投资5亿元，位于广东省佛山市南海区狮山镇科教路1号（广东中科半导体微纳制造技术研究院），项目计划搭建玻璃基板生产线，完成核心生产及检测环节技术改造。主要产品为玻璃基板，设计月产能约5000片。项目无新增主体厂房，重点购置核心设备：差分蚀刻线、超粗化线、FAB电镀线、研磨机、激光切割机等设备，优化蚀刻、电镀、检测等关键工艺流程。项目建成后，将填补本地相关中试环节空白，助力半导体封装技术研发转化，提升行业技术竞争力；推动高端制造业数字化、智能化升级，带动上下游产业链协同发展；产能提升至5000片/月，满足市场技术验证及小批量供货需求。

据了解，佛智芯聚焦玻璃基板国产化与规模化应用，攻克多项行业卡脖子难题。公司现已建成510mm×515mm大尺寸高密度玻璃基板专用产线，自主研发高纵深比TGV玻璃通孔技术，实现玻璃微孔加工最小孔径3μm、玻璃表面金属结合力≥10N/cm、通孔深径比≥20:1，技术水准达到国际先进水平。